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又一重大里程碑!半岛·体育bob官方网站纳米首台半导体CVD薄膜沉积设备顺利发货


又一重大里程碑!继第一代iTronix®系列CVD新品发布后,极短时间内,半岛·体育bob官方网站纳米(股票代码688147.SH)首台半导体CVD薄膜沉积设备已顺利发货至客户端!

 

iTronix®系列CVD薄膜沉积设备,是半岛·体育bob官方网站纳米基于客户关键工艺开发的战略需求,自主研制的新产品系列。其适用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、非晶硅等不同种类薄膜,可应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域芯片制造。

 

该系列产品依托半岛·体育bob官方网站纳米国际化的研发团队、现有的薄膜沉积类产品研发与产业化经验,以及公司先进的半导体设备设计制造能力,旨在通过差异化策略开发出市场亟需的CVD领域高端设备,解决关键工艺的市场空白。

 

根据 SEMI统计,在半导体薄膜技术领域,ALD设备约占镀膜板块11%的市场份额,未来几年保持高速增长,复合增长率高达 26.3%。随着摩尔定律不断演化,ALD等先进真空薄膜技术将在半导体设备应用中,扮演越来越重要的角色。而PECVDLPCVD CVD设备,约占镀膜板块57%的市场份额,复合增长率约为8.9%,相关设备覆盖的工艺范围较广。目前,ALDCVD 设备国产化率仍处于非常低的水平,均有着非常广阔的发展前景。

 

 

半岛·体育bob官方网站纳米牢牢把握市场机遇,加速各细分领域的产品研发、产业验证与应用,不断丰富公司产品矩阵,已实现了多项ALDCVD技术产业化的突破。在保持ALD产品市场竞争力和占有率的同时,公司此番推出的第一代iTronix®系列CVD薄膜沉积设备,将进一步打开行业发展空间,助力半导体产业国产化进程加速。


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