首台产品研发验证阶段

公司成立至2017年7月

• 公司成立于2015年12月25日；
• 一代机KF4000研制成功，全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域。

下游龙头客户攻坚阶段

2017年8月至2018年5月

• KF6000成功在光伏龙头企业通威太阳能完成量产验证；
• 研发以臭氧工艺为核心工艺的KF10000S机型，产能提升至10000片/小时。

市场与产品突破阶段

2018年5月至2018年12月

• 夸父（KF）系列在各大光伏头部企业产线开始量产爬坡，公司产品在行业内知名度进一步提升；
• 夸父（KF）原子层沉积设备被评定为“江苏省首台（套）重大装备产品”；
• 启动半导体领域与柔性电子领域机型的研发工作，公司实施产品线多元化战略。

公司加速发展阶段

2019年1月至2020年12月

• 推出祝融（ZR）系列PEALD+PECVD二合一设备，首次将PEALD技术应用于光伏领域；
• 半导体领域ALD镀膜设备研发成功，完成多种集成电路关键材料工艺验证，并与客户签订订单；
• 公司进行股份制改造，连续完成两轮融资，并引入多家知名投资机构。

公司战略升级发展阶段

2020年12月至今

• 公司引入新一轮投资机构，正式启动科创板上市；
• 在光伏领域，公司高端光伏装备陆续获得包括阿特斯、隆基股份、爱旭股份、晶科能源等多家重要光伏客户订单，并在通威太阳能、无锡尚德等N型TOPCon高效电池生产线上开展应用，从PERC/PERT进一步向TOPCon乃至HJT/IBC技术延伸；
• 在半导体领域，公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司，正式进军逻辑芯片、先进存储、3D-IC等镀膜制造领域。